有了平台,才能进行集成电路关键设备“光刻机“的设计、制造集成、测试和工艺试验。

        明荣听到徐文扬的介绍后,知道这是千载难逢的机会。

        十分卖力地介绍着自己的微电子公司:

        “我们依托中海高校的优势人力资源,积极吸引国外先进智力,积极参与国际性的学术和技术交流活动,在努力培养一支理念先进、方法科学、视野开阔的国际化人才团队,以及相适应的高技术研发工程能力……”

        “明总……”徐文扬打断了他的话,“这些套话不要讲了。叶董这次来,是务实的,不要整些虚头巴脑的,你先说说现在的中海微电子制造光刻机有什么困难?你们多少时间能研制出来?”

        “诶,这困难可就多了……”

        明荣脸上僵住了,把刚才给吴勒恩说过的镜头加工难度说了一遍后,又苦笑道:“除此之外,光刻机还需要体积小、功率高、特稳定的光源,我们得从无到有研发一套统极复杂光学系。”

        “有了顶级的镜头和光源,没极致的机械精度,也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片。两者需始终同步,误差在纳米级。两个工作台由静到动,加速度跟导弹发射差不多。”

        “相当于两架大飞机从起飞到降落,始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀,在另一架飞机的米粒上刻字,不能刻坏了。”

        明荣又道:“而且,温湿度和空气压力变化会影响对焦。机器内部温度的变化要控制在千分之五度,得有合适的冷却方法,精准的测温传感器。”

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